三坐標測量儀三軸均有氣源制動開關及微動裝置，可實現單軸的精密傳動，采用高性能數據采集系統。在機械、電子、儀表、塑膠等行業廣泛使用。

在一個六面體的空間范圍內，三坐標測量儀能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。三坐標測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等 。

目前三坐標測量儀是獲得尺寸數據的最有效方法之一，它可以代替多種表面測量工具及昂貴的組合量規，并把復雜的測量任務所需時間從小時減到分鐘，這是其它儀器而達不到的效果。

三坐標測量儀采用天然高精密花崗巖導軌，保證了整體具有相同的熱力學性能，避免由于三軸材質不同熱膨脹系數不同所造成的機器精度誤差。